Lachgas (N2O) ist ein Hightech-Dünnschicht Material, das bei der Herstellung von LCDs und Halbleitern verwendet wird. Die Hauptanwendung ist die Herstellung von hochwertigen Oxidschichten (SiOx), die als elektrische Isolatoren in mikroelektronischen Transistoren durch die Reaktion mit Silan (SiH4) oder anderen Silizium Vorläufern verwendet werden. Darüber hinaus wird Lachgas immer häufiger zum selektiven Ätzen von Halbleiter-Dünnschichten und zur Herstellung von Dünnschicht Oxiden mit zusätzlichen Elementen wie Titan, Aluminium, Magnesium, Indium und Zirkonium verwendet.
N2O, ein farbloses, brennbares Gas mit leicht süßlichem Geruch und Geschmack, ist ein Oxidationsmittel, das eine Verbrennung ähnlich wie Sauerstoff ermöglichen kann. Es handelt sich um eine reine elektrische Substanz, die durch die thermische Zersetzung von Ammoniumnitrat entsteht.
Warum wird dieses Gas bei der Herstellung von Elektronik verwendet?
Da es weniger reaktiv ist, ist es selektiver als Sauerstoff.
Diese Eigenschaft wird häufig genutzt, um:
-den Sauerstoffgehalt einer dünnen Schicht zu steuern
-Minimierung von Nebenoxidationsprozessen
-eine einzelne dünne Schicht vorsichtig zu ätzen und dabei einige Personen zu belassen.
In der Elektronikindustrie werden jährlich etwa 10.000 Tonnen N2O verwendet. Diese Zahl steigt. Die Elektronikindustrie hat Lachgas Behälter kaufen, weil ihr Bedarf an ihnen steigt, weil es die höherwertige Anzeige, einschließlich ultra hochauflösender und OLED, verbessert hat. Anstelle der veralteten, auf Silizium basierenden Technologie werden mit N2O Metalloxid-Transistoren hergestellt, die zu Bildschirmen mit schnelleren Bildwiederholraten, besserer Farbwiedergabe und höherer Bildqualität führen.
Das bei der Herstellung von Elektronik verwendete N2O macht weniger als 1 % der Gesamtmenge aus und wird in der Produktionsstätte erfolgreich reduziert; es hat einen vernachlässigbaren Einfluss auf die globale Erwärmung.
Lachgas Anwendungen in elektrischen Geräten wie:
-Mobile Geräte
-Fahrzeuge
-Gesundheitstechnik
-Roboter
-Planetcricket
Lachgas ist ein Kerngas, das in mehreren Phasen des Halbleiter Herstellungsprozesses verwendet wird, da es leicht verfügbar und inert ist. Am häufigsten wird es jedoch in der Spülphase eingesetzt. Dabei werden alle Rohrnetze und Kanäle mit Lachgas gespült, um den Sauerstoff aus den Maschinen und Werkzeugen zu entfernen und sie von anderen Gasen freizuhalten, die den Betrieb beeinträchtigen könnten. Außerdem haben die meisten Halbleiterfabriken einen Lachgas Generator vor Ort, da Lachgas häufig verwendet wird. Die Notwendigkeit, die Preise niedrig zu halten und gleichzeitig die starke Nachfrage zu befriedigen, ist bei der Herstellung von Hightech-Handys und anderen Geräten noch deutlicher geworden. Außerdem kann man sagen, dass Stickstoff verhindert, dass Feuchtigkeit, chemische Verunreinigungen und andere Partikel in die Werkzeuge, den Raum und die Schläuche gelangen. Daher ist es sinnvoll, dass sie Generatoren vor Ort haben, da es sich um ein notwendiges Gas handelt, das während des gesamten Prozesses von Anfang bis Ende benötigt wird.
Abschließende Worte
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass der Einsatz von Lachgas in der Elektronikfertigung die Umweltauswirkungen des Prozesses nachweislich verringert. Die Hersteller müssen jedoch für eine ordnungsgemäße Handhabung und Entsorgung des Gases sorgen, um Schäden für Arbeitnehmer und Umwelt zu vermeiden.
